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全自动槽式刻蚀机设备

全自动槽式刻蚀机设备

适用于:8~12英寸晶圆刻蚀设备特点:1. 刻蚀性能优异 ,与Single Wafer机台完全持平 ,而能耗更低2. 节能 ,药水单耗低于Single Wafer3. 结构简单 ,使用便当 ,操作难度低于Single Wafer4. 本钱低廉 ,相同产能其价格约为...

适用于:8~12英寸晶圆刻蚀 

设备特点

1. 刻蚀性能优异 ,与Single Wafer机台完全持平 ,而能耗更低

2. 节能 ,药水单耗低于Single Wafer

3. 结构简单 ,使用便当 ,操作难度低于Single Wafer

4. 本钱低廉 ,相同产能其价格约为Single Wafer机台的1/5

5. 设备升级空间巨大 ,容易搭载更多的功效


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