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TOPCon湿法成套设备

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制绒产能400片设备:单晶>8500片/H,多晶>9000片/H碎片率碎片率≤0.01%,良率99.8%Uptime≥98.5%产品适应性适用于硅片尺寸:156x156mm,Max:210*210mm;硅片厚度100~200um(大尺寸向下兼容,不需要更换槽体)制绒槽体药...

制绒产能

400片设备:单晶>8500/H,多晶>9000/H

碎片率

碎片率≤0.01%,良率99.8%

Uptime

98.5%

产品适应性

适用于硅片尺寸:156x156mm,Max:210*210mm;硅片厚度100~200um(大尺寸向下兼容,不需要更换槽体)

制绒槽体药液寿命

10万片以上(大尺寸硅片化学品耗量基本不增加)

具备纯水预热系统

热水温度在75-80°C,减少换液时间

(高效喷淋清洗减少纯水用量)

减薄量均匀性

允许偏差3%(每蓝抽测减薄量偏差,大花篮与大花篮之间、减薄量偏差)

温度控制精度

±0.8℃

自动补液

工艺槽体药液使用自动补液系统(流量计、磁制伸缩液位计配合恒压罐计时添加)

下料干燥要求

搭配超高洁净度干燥系统(氮气辅助加热)

下料后反射率

单晶反射率≤12%,多晶反射率≤15%

硅片外观

干进干出,干燥系统配置超高精度过滤器

参数纪录

保存最近1年以上参数修改纪录(工控机控制,预留MES通讯接口)


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