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RCA去绕度清洗设备

RCA去绕度清洗设备

尊龙凯时人生就是搏装备RCA去绕度清洗机湿法设备

适用硅片尺寸

156~220mm;硅片厚度110-220um

设备产能

400片设备:单晶>9000/h

碎片率和良率

碎片率≤0.01%,良率99.8%

Uptime

98.5%

温度控制精度

±0.8℃

制绒槽体药液寿命

9万片以上

纯水预热系统

热水温度在75-80°C,减少换液时间

减薄量均匀性

允许偏差3%(每篮抽测减薄量偏差,大花篮与大花篮之间减薄量偏差)

自动补液

工艺槽体药液使用自动补液系统,(流量计、磁致伸缩液位计配合恒压罐计时添加)

下料干燥要求

搭配超高洁净度干燥系统(氮气辅助加热)

下料后发射率

12%

硅片外观

干进干出,干燥系统配置超高精度过滤器

参数纪录

保存最近1年以上参数修改纪录(工控机控制,预留MES通讯接口)


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